隋文帝继承了北周的统治以后，立卸改交了周武帝的灭佛政策，把佛教当作巩固其统治地位的工具而加以利用。他在颁诏于五岳各建寺庙一所后又下令在五台山五座台顶之上各建佛寺一处。开皇十三年(公兀563年)十二月，文帝又派人至五台山，设斋度僧，兰称自己为佛弟子。这样，在周武帝灭佛之后，五台山佛教又走上了恢复和发展的道路。
　　唐代是五台山佛教的极盛时期。唐初各帝，大多与五台山有来往。据《清凉山志》记载，贞观九年(公元635年)，太宗因五台山为其“祖宗植德之所”，故建寺十处，度僧百数。显庆元年(公元656年)，唐高宗又颁诏书，兔收五台山佛事道场赋税。开元二十入年(公元740年)，唐玄宗之女永穆公主舍钱于五台山清凉寺，为其父建造净土诸像。大历五年(公元770年)，唐代宗命不空和尚在五台山修建了金阁寺。这样一来，佛教的社会地位越来越高。寺院拥有大量庄田，兰发放高利贷。僧人有奴，尼姑有婢，他们的所有土地、商号均不纳税。因此，寺院迅速发展成为具有特权的经济实体。从教义上说，各派相通而又互竞，且常到人民群众中广为宣传。岁时节日，诸多佛寺举行俗讲，僧俗均可自由去听。化俗法师，游行于村落，不厌其烦，讲说其教义。各地社邑，定期举办斋会，社僧为大众说法，这就使佛教活动渗透到了社会生活的各个角落。
　　《华严经》的弘世，使五台山佛教的发展达到一个新的水平。《华严经》中说文殊菩萨常住清凉山，五台山遂被看作文殊菩萨的道场，从而成为全国佛教活动的中心之一，国内外名僧亦远道前来朝山拜佛。当时，全山寺庙360余所，各宗僧侣3ooo余人，再加密教信徒的大力经营，五台山寺建规模之大，中外僧侣之多，佛事鼯动之烦，经力量之雄厚，便达到了前所未有的程度。这是五台山佛教的极盛时期。
　　寺院经济的不断膨胀，使其同唐王朝的矛盾日益加深。安史之乱又使这一矛盾更加激化。公元845年，发生了唐武宗灭法。远离帝都的五台山没有躲过这一场浩劫，所有寺院几乎焚毁尽净，佛光寺仅仅留下一座砖结构的祖师塔，金阁寺仅仅留下几个石头莲花桂础，侥幸保存下来的只有边远小庙南禅寺。后来，唐宣宗、唐昭宗又大兴佛法。例如：大中二年(公元848年)，诏令五台山新建五座寺庙，每座寺庙度五十名僧人；多数名僧又被召回，原为善住院住持的智颍大师被命为五台山僧首；愿诚和尚重返佛光，宣宗赐以紫衣，兰封为圆相兼任山门都检校；诏令重修寿宁寺，兰拨给州田百顷，等等。这样，五台山的佛教虽得到某种程度的恢复，但元气已伤，直到残唐五代，再也没有出现兴旺发达的景象。